首頁＞關於東佑達奈米＞產品資訊
線馬空氣軸承運動平台
XYZR龍門平台

非共面式空氣軸承，免保養、壽命極佳、定位精度高、溫度影響低。

✅採非共面式空氣軸承，免保養、壽命極佳、定位精度高、溫度影響低
✅搭配無鐵心式馬達，整合高精度DD模組
✅Z方向Jitter<50nm内
✅XY軸行走平坦度,可達士1μm/350mm

產業應用
玻璃基板曝光應用、白光檢測設備、晶圓光罩檢查設備。

資料索取需向業務洽詢

業務部連絡窗口 Diana
+886-3-569-6060 ext.2006
service@toyonano.com

資料索取需向業務洽詢

業務部連絡窗口 Diana
+886-3-569-6060 ext.2006
service@toyonano.com

資料索取需向業務洽詢

業務部連絡窗口 Diana
+886-3-569-6060 ext.2006
service@toyonano.com

訂閱我們的電子報，隨時掌握最新資訊。
東佑達奈米系統股份有限公司
303 新竹縣湖口鄉八德路一段67號
TEL:+886 3 569 6060
E-MAIL:service@toyonano.com