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線馬空氣軸承運動平台
XY共面式平台

氣浮平台的應用在曝光設備中，尤其重視定位精度及潔淨室適用性。

✅氣浮平台的應用在曝光設備中尤其重視定位精度及潔淨室適用性。
✅採用無鐵心線性馬達搭配高解析光學編碼器。
✅全行程平面度土4μm
✅各軸重現性<2pm
✅潔淨室等級Class 10適用

產業應用
PLP檢測系統、uled檢測系統、PCB曝光設備

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業務部連絡窗口 Diana
+886-3-569-6060 ext.2006
service@toyonano.com

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