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線馬空氣軸承運動平台
XY直交平台

XY Stage低重心設計，搭配無鐵心式馬達，Z軸採螺桿架構。

✅XY Stage低重心設計，搭配無鐵心式馬達
✅Z軸採螺桿架構，以步進馬達搭配光學尺提升定位精度
✅採非接觸式空氣軸承，免保養、低發塵、定位精度高、溫度影響低特性
✅可搭配主被動式抑振系統，提升設備防震能力

產業應用
uLED基板曝光應用、白光檢測設備、晶圓缺陷檢測設備。

資料索取需向業務洽詢

業務部連絡窗口 Diana
+886-3-569-6060 ext.2006
service@toyonano.com

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